HMDS预处理烤箱 HMDS真空烘箱 HMDS涂布设备 真萍科技
一、主要技术指标：
1. 机外壳采用冷扎钢板喷塑处理，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。
2. 箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。
3. 微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。
4. 智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。
5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用优 质材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。
6 HMDS管路加热功能，使HMDS液体进入箱体的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易。
7. 低液报警装置，采用红外液体感测器，能及时灵敏给出指令（当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能）
8. 温度与PLC联动保护功能（当PLC没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报）
9.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316不锈钢材料，整体使用无缝焊接（避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害）
二、整机尺寸、真空腔体尺寸：
1. 内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;
2. 载物托架：2块
3. 室温+10℃-250℃ 控温范围：温度分辨率：0.1℃ 温度波动度：±0.5℃
4. 真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa，
5. 加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态）
6. 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。
7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为 常规降温）。
真萍科技是专业的从事热处理设备、烘烤制程设备、环境与可靠性试验设备、半导体黄光区专用设备，储存专业设备等产品专业供应商，由一批多年从事热工、真空,结构、半导体等行业的专业工程技术人员为核心，具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。
免责声明： 本页面所展现的信息及其他相关推荐信息，均来源于其对应的商铺，信息的真实性、准确性和合法性由该信息的来源商铺所属企业完全负责。本站对此不承担任何保证责任。如涉及作品内容、 版权和其他问题，请及时与本网联系，我们将核实后进行删除，本网站对此声明具有最终解释权。
友情提醒： 建议您在购买相关产品前务必确认资质及产品质量，过低的价格有可能是虚假信息，请谨慎对待，谨防上当受骗。
